PREDMETI

Cilji

Cilj predmeta je, da študenti spoznajo in razumejo osnove vakuumske tehnike in tehnologije, na nekaterih področjih pa znajo aktivno uporabljati dobljena znanja in reševati probleme. Študenti bodo zmožni uporabljati znanje o pripravi in merjenju vakuuma, vakuumskih komponentah, načrtovanju in izgradnji vakuumskega sistema, o detekciji puščanja in o vakuumskih materialih. Študenti bodo spoznali pripravo tankih plasti iz parne faze v vakuumu in obdelavo materialov s plinsko plazmo. Študenti bodo razumeli fizikalno-kemijske osnove o reaktivni plazmi, kot so čiščenje, aktivacija, funkcionalizacija površin ter selektivno jedkanje. Študenti bodo zmožni uporabljati moderne analizne metode za preiskavo površin in tankih plasti, ki temeljijo na vakuumu. Zmožni bodo primerjalne analize dobljenih podatkov in reševanja problemov, povezanih s površinami materialov.

Predmetnik

Fizikalne osnove, izrazoslovje, merilne enote in definicije v vakuumski tehniki in tehnologiji Priprava vakuuma: črpanje plinov, vakuumske črpalke, hitrost črpanja, vrste pretokov plinov Fizikalno-kemijski procesi na površinah materialov: desorpcija, adsorpcija, sorpcija, segregacija, difuzija, permeacija, razplinjanje materialov Meritve vakuuma od 1000 mbar do 10-12 mbar, izbira merilnikov tlaka, principi meritev, analiza preostalih plinov z masno spektrometrijo, detekcija puščanja, hitrost puščanja Vakuumske komponente, sistemi in materiali: načrtovanje vakuumskega sistema glede na področje vakuuma; izbira materialov in komponent Metode za analizo površin, ki delujejo v ultravisokem vakuumu: rentgenska fotoelektronska spektroskopija (XPS), masna spektrometrija sekundarnih ionov (SIMS), spektroskopija Augerjevih elektronov (AES): fizikalni principi, analizna globina, lateralna ločljivost, občutljivost metod, kvantitativna obdelava podatkov, profilna analiza tankih plasti Nizkotlačne in atmosferske plazme: termodinamsko neravnovesno stanje plinov, uporaba plazme za čiščenje, aktivacijo, funkcionalizacijo in selektivno jedkanje površin Vakuumska tehnika v inženirstvu površin za izboljšanje lastnosti površin: priprava in obdelava površin, nanos PVD in CVD prevlek Vakuumske tehnologije v metalurgiji, kemijski, farmacevtski, prehrambni industriji, elektroniki in elektrooptiki